تمكين النقاء على المستوى النانوي: حلول ترشيح أشباه الموصلات
في تصنيع أشباه الموصلات، نحن في ساحة المعركة على المستوى الجزيئي. دخلت عمليات تصنيع الرقائق عصر النانو، حيث يصل عرض الخطوط إلى بضعة نانومترات. على هذا النطاق، حتى الجسيم المجهري غير المرئي للعين المجردة، أو الشوائب الأيونية، يمكن أن يسبب عيوبًا في الدائرة على الرقاقة بأكملها، مما يؤدي إلى خسائر اقتصادية هائلة. ولذلك، فإن المواد الكيميائية فائقة النقاء، والمياه فائقة النقاء، والغازات فائقة النظافة لم تعد ظروفًا مساعدة، بل أصبحت شريان الحياة الذي يحدد الإنتاجية والأداء. وتشكل تقنيات الترشيح والفصل البوابة الأساسية لحماية شريان الحياة هذا.
تخدم موادنا فائقة النقاء بدقة عملية التنقية الأساسية في تصنيع الرقائق:
نظام تنقية المياه فائق النقاء:
سيناريوهات التطبيق: تلميع الطبقات المختلطة UPW في المراحل النهائية من شطف الرقائق والتخفيف الكيميائي.
منتجات محددة: شاشات أحادية الخيط PFA/PVDF، تعمل كإطار دعم وطبقة ترشيح لعنصر المرشح.
الوظيفة: يعترض بشكل فعال شظايا الراتنج والجزيئات الصغيرة المنفصلة عن المنبع، مما يضمن أن المياه فائقة النقاء المتدفقة إلى سطح الرقاقة تحقق نقاءً على مستوى PPT.
ترشيح المحاليل الكيميائية عالية النقاء:
سيناريوهات التطبيق: الترشيح النهائي لسوائل العمليات الحرجة مثل محاليل النقش، وملاط CMP، ومطوري الطباعة الحجرية الضوئية.
منتجات محددة: شاشات أحادية الشعيرات PFA عالية الدقة وقماش مرشح منسوج سلس.
الوظيفة: يقوم بتصفية المواد الهلامية والتكتلات وملوثات الأيونات المعدنية بدقة في المحاليل الكيميائية، مما يمنعها من التسبب في عيوب على سطح الرقاقة ويضمن توحيد النقش والتلميع.
ترشيح الغاز وتوزيعه:
سيناريوهات التطبيق: التنقية النهائية لبيئات الغرف النظيفة وغازات المعالجة (مثل النيتروجين والأرجون).
منتجات محددة: مادة مرشح العمق PTFE.
الوظيفة: يقوم بتصفية قطرات الزيت والرطوبة والجسيمات الدقيقة من الغاز بكفاءة، مما يوفر مصدر غاز "خالي من الغبار" للعمليات الرئيسية مثل الطباعة الضوئية وترسيب الأغشية الرقيقة.
إن اختيار منتجات الترشيح عالية الجودة من أشباه الموصلات يعني اختيار أساس لا يقبل المساومة للجودة:
انخفاض شديد في معدل الاستخلاص والترسيب: تخضع مواد PFA/PVDF الخاصة بنا لمعالجة تنقية خاصة، مما يؤدي إلى انخفاض شديد في معدلات استخلاص أيونات المعادن والكربون العضوي الكلي. ويضمن هذا عدم إدخال أي تلوث ثانوي إلى السوائل فائقة النقاء، مما يضمن نقاء السوائل من المصدر.
توافق كيميائي ممتاز: يمكن لمنتجاتنا أن تتحمل تقريبًا جميع الأحماض القوية والقواعد القوية والمؤكسدات القوية والمذيبات العضوية المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات، مما يضمن عدم تدهور وسائط الترشيح أو انتفاخها أو تعرضها لتدهور الأداء في ظل الاتصال طويل الأمد.
التحكم الدقيق والمتسق في حجم المسام: من خلال النسيج الدقيق ومراقبة الجودة الصارمة، نضمن توزيعًا موحدًا للغاية لحجم المسام في مواد الترشيح الخاصة بنا، مما يوفر لك دقة ترشيح مستقرة ويمكن التنبؤ بها وكفاءة الاحتفاظ بالجسيمات.
الامتثال لأعلى معايير الصناعة: يلتزم نظام الإنتاج وأداء المنتج لدينا بشكل صارم بالمعايير ذات الصلة لـ SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International)، مما يوفر لك منتجات موثوقة يمكن دمجها مباشرة في سلسلة توريد أشباه الموصلات العالمية.
English
